Durante a fabricação de semicondutores, os componentes internos dos equipamentos devem operar sob condições exigentes que envolvem altas temperaturas, exposição a produtos químicos, requisitos de limpeza e usinagem de precisão.
Com sua resistência química, resistência a altas temperaturas, baixos extratáveis e estabilidade dimensional, o PEEK se tornou uma opção de material para muitos componentes críticos.
01. Anel de Retenção CMP
Processo de Polimento Químico-Mecânico CMP
Os anéis de retenção CMP são componentes críticos de posicionamento utilizados no processo de polimento químico-mecânico. Instalados na estação do cabeçote de polimento, eles fixam firmemente a borda externa de um wafer de 8 polegadas, evitando o deslocamento ou a saída do wafer durante o polimento em alta velocidade, garantindo a planicidade de toda a superfície do wafer.
O PEEK oferece resistência ao desgaste sem gerar micropartículas, ajudando a prevenir arranhões na superfície fotolitográfica do wafer. Sua resistência química também permite suportar imersão prolongada na lama de polimento, tornando-o um componente-chave de posicionamento para garantir o rendimento do processo do wafer.
02. Guia de 12 Polegadas
Dentro do Equipamento de Limpeza em Lote
O conjunto completo da estrutura é instalado dentro do tanque químico do equipamento de limpeza em lote. A estrutura aberta com dentes posicionada centralmente serve como um barco de limpeza para segurar múltiplos wafers.
As aberturas permitem que os produtos químicos de limpeza fluam totalmente por ambos os lados dos wafers, melhorando a uniformidade dos processos de ataque úmido e enxágue.
As estruturas verticais em ambos os lados servem como guias e ranhuras de posicionamento de 12 polegadas, fornecendo orientação de trajetória quando braços robóticos pegam e colocam wafers. A base de formato especial na lateral serve como base de montagem e fixação da câmara, que é travada na câmara do tanque de limpeza por meio de um mecanismo de fixação. Ela resiste à corrosão química e mantém sua forma.
Dicas
Orientação e Posicionamento de Wafer de 12 Polegadas
Usados em equipamentos de limpeza em lote, esses componentes desempenham funções de guiamento, posicionamento e fixação estrutural de wafers.
03. Componentes da Carcaça do Motor
Motores de acionamento em miniatura embutidos em equipamentos de semicondutores de precisão
Esta carcaça de motor é usinada com precisão a partir de PEEK5600G virgem e é usada principalmente como carcaça protetora para micromotores de acionamento embutidos em equipamentos de precisão para semicondutores.
Fabricado em PEEK virgem, combina excelente isolamento elétrico e resistência a altas temperaturas. Pode isolar interferências eletromagnéticas e ajudar a prevenir riscos de fuga elétrica. Também resiste a vapores químicos dentro de equipamentos, mantém a estabilidade dimensional durante operação de longo prazo e não libera substâncias de baixo peso molecular que possam contaminar câmaras limpas.
A carcaça fornece proteção ao motor, isolamento e blindagem, amortecimento de vibrações e isolamento térmico. Ela isola poeira e umidade corrosiva, ajudando a garantir a operação estável e de longo prazo de micromotores em condições limpas e exigentes, ao mesmo tempo que atende aos requisitos de transmissão de precisão da produção em salas limpas de semicondutores.
04. Pinos de Elevação para Limpeza de Tanques / Efetuadores Finais
Para manuseio, suporte, elevação e alinhamento de wafers
Esses componentes são usados em estações de manuseio de wafers em equipamentos de limpeza em lote de semicondutores e são fabricados em PEEK virgem.
Devido à sua resistência a produtos químicos de limpeza ácidos e alcalinos, baixos extraíveis, limpeza, resistência a altas temperaturas e baixo coeficiente de atrito, o PEEK ajuda a prevenir arranhões nos wafers, apoia a limpeza dos wafers e é adequado para ambientes exigentes de limpeza úmida.
Os efetores finais são responsáveis por segurar e apoiar suavemente os wafers durante a transferência para dentro e para fora dos tanques químicos. Os pinos de elevação trabalham juntos para levantar e posicionar os wafers, completando as operações de alinhamento e descarga dos wafers.
Juntos, esses componentes permitem uma transferência estável dos wafers, ajudando a evitar danos por impacto e contaminação, ao mesmo tempo em que atendem aos requisitos de produção de precisão dos processos de fabricação de semicondutores.
Por que PEEK?
Resistência a Altas Temperaturas
Suporta ambientes de alta temperatura por longos períodos.
Resistência Química
Resistente a ácidos, álcalis e diversas soluções químicas.
Baixos Extraíveis
Limpo e livre de contaminação.
Estabilidade Dimensional
Mantém sua forma sem deformação durante o uso prolongado.
Em equipamentos de semicondutores, o desempenho do material
deve, em última análise, ser aplicado a cada componente de precisão.
Dos Materiais às Aplicações
Dos Produtos às Operações Reais
Estes componentes de precisão em PEEK
estão servindo
diferentes cenários de aplicação
em equipamentos de semicondutores.
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